半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务环境
该公司各个企业主为亚洲专业的半导体鑫霖环保芯片公测公司各个企业主,是在珠半圆地,主要的施行高端大气鑫霖环保芯片的片区和装封测试英文。致使内地干净标准从紧,公司各个企业主判断施行废渣零污染物水利。工程于明年通电,202一年6月建设完工投运,治理 范围为200吨/日,总股权投资约2000百万元。
废气组分及渠道
本项作用片区废水处理方法体现了下列亮点:
高氧化还原电位氟化物,通常出自晶圆激光切割后的的洗涤工艺流程,氟阴离子氧化还原电位达150-200mg/L
富含纳米技术级硅粉小粒,粒度多在100-500nm之中
有机会负荷量较高,COD在500-800mg/L
含带微量分析血本属如铅、镉等
纯水电导率高,一般是在2000-3000μS/cm
解决艺具体流程
为进行零排出对象,技艺设计注重综合考虑污废水 类型分类整理和信息回报:
废水处理类型抽取系统化
:将含氟化工污水与别的化工污水单独征集
生物学悠长岁月中除氟
:主要采用多级钙盐奠定法,协调有效奠定池
高级工程师氧化反应处理
:老化催化剂的作用腐蚀吸附难处里有机酸物
膜浓缩咖啡系统的
:主要包括DTRO碟管式反渗入,高浓数倍为10倍
汽化结晶体
:MVR机械厂水蒸气再再压缩化掉器加工处理浓水
太干软件
:将晶粒盐常温、干燥后用作工业化副厂品外售
治疗目的
装置运营资料提示:
氟化物清除率>99.9%,满水后氟亚铁离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,留水COD<20mg/L
水信息回收分类处理率>95%,仅引发一点心得盐
每一年的可收废高质量回收利用水约六万吨
晶体盐纯净度达到了产业级规则,保证 资源共享化使用
品牌不光实现目标了生活污水零排出,还借助自然资源二手回收开创了约80十万/年的三倍效率。