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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

楼盘游戏背景 该半导制造厂居民小区应用于华东地域地域,总投入小于200万亿,关键生产销售125英寸晶圆和现代化打包封装产品的。居民小区日直接减排准则废出水量约5000吨,包涵很多的工艺废液,治理 分值大。新项目规定废液治理 后可达到《网络行业水严重污物直接减排准则准则》(GB 39731-2020)特意直接减排准则规定值,一些循环率不高于60%。 污水因素及主要来源 含氟污废水 :其主要产自晶圆蚀刻、清洁工作工艺流程,氟亚铁离子盐浓度达200-500mg/L,pH值波动性大 巧妙化学焦化废水:光刻、成像、去胶等工艺产生了,COD浓度值300-800mg/L,所含异丙醇、二甲苯等巧妙化学容剂 含铜污废水 :电镀锌、物理机械化抛光剂(CMP)生产工序引起,铜阴阳离子浓度值50-150mg/L 酸碱性焦化废水:设施清理、的废气清洗等各个环节呈现,pH值在2-12相互冲击 机磨废水处理工艺:CMP程序引发,具有刺激性纳米级级二防氧化硅顆粒 治理工序生产流程图 分为"分为采集而来+分质处理+广度自净"的组合公式鑫霖环保: 含氟污工业水处理线 : 有级电学沉定:先添加氯化钙调整pH至6-7,加上入PAC和PAM二沉池沉定 活性酶被氧化铝粉吸附物:切实保障氟阳离子渗透压下降5mg/L下列 污泥处理经板框压滤后委托代为的专业治理 有机会工业废水清理线 : 微电解抛光设备预补救:铁碳微电解抛光设备吸附大生物大分子有机肥料物 UASB生物滤池的流化床反应器:HRT=24h,COD去掉率>60% MBR膜生物学现象器:用于PVDF中空玻璃窗化学纤维膜,通量15LMH 含铜污水补救线 : 化学上滤渣:污泥脱水NaOH调结pH至9-10,转变成Cu(OH)2滤渣 化合物互转:两极树酯互转保持铜化合物<0.3mg/L 电解设备设备收旧:部件生产废水经电解设备设备收旧金屬铜 结合净化处理整体 : 设定池:均匀地表水水流量,设爆气均匀搅拌 混凝土沉垫:添加复合型斜管沉淀池剂取除氢氧化铁材料 三氧促使空气氧化:光挥发难光挥发有机酸物 反渗透膜法系统性:脱盐率>98%,产水循环于产生线 活性污泥进行处理系统化 : 厌氧颗粒污泥溶缩池:混合物溶度从1%完善至3% 离心力脱水处理:融入PAM冶疗,泥饼含水分率<75% 温度过低干化:一些污泥干化干化至含水分率30%以內 后面功能 項目建起运转后,各类要求平稳符合标准:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜阴阳离子<0.3mg/L、pH 6-9。化工废水处理水水的硬度符合GB/T 19923-2005化工供水标准,化工废水处理率65%,第年业绩新鲜毛肚水的使用量约115万吨。生活污水有量以减少40%,安全固体废物处治费用大幅度降低35%。整体一键化程度上高,在线播放探测数值与节能减排部分实时更新网络。

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