某半导体器件厂在生产制造历程中的使用硝酸钠系成像液,产生了高渗透压含NOx污废水 ,日操作量50吨。污废水 中含NO2-到达2000mg/L,且富含进样器有机物光刻胶成份,操作一定的难度相对较大。
2. 废气有效成分及来历
成像工作废弃物(一般废弃物源)
晶圆家电清洗焦化废水
气体洗洁塔排水管道
3. 治理工艺设计注意事项
使用"高层钝化+二级动物加工处理"创新性制作工艺:
老化被氧化
:凭借什么是臭氧会出现器造成O3,将难可降解设计物吸附为小分子式化合物,同時将NO2-硫化为NO3-。
生物体膜的生物反应器(MBR)
:
首个级:缺氧游戏生态环境下加药系统甲醇看做碳源,力促反活性污泥现象
二是级:好氧生物学膜进每一步光降解可挥发物
电药剂学的深度解决
:选择钛基金属涂层参比电极,凭借钛电极帮助彻底清除分离残存生态破坏物。
4. 既定功效
NOx总氮调至8mg/L下面的
COD安全在30mg/L内
废水处理工艺回收率达60%
软件系统进行耗电量把控在3.5kWh/吨水,较一般施工工艺能效20%。