该晶圆制做厂地属华南各地,其主要产出加工8英尺半导体芯片晶圆,单日化工废水来进行排股票放量约800吨。因产出加工期间中适用一大批盐酸来进行晶圆蚀刻,造成化工废池里氟化物酸度达200-300mg/L,远超国家来进行废气排放标淮(10mg/L以下的)。
焦化废水营养成分及来源于
废气通常出于三大要素:
晶圆蚀刻工艺
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、硝酸钠及一点血本属
生物机诫打磨抛光(CMP)化工废水
:含微米级硅颗料、有机肥料络合剂
机械设备清理电镀废水
:含异丙醇、化学需氧量等无机物物
治理工序程序流程
分为"生物学沉垫+沥青混凝土沉垫+长度过虑"三阶段治疗机系统:
特级处里
:加药氯化钙和氢硫化钙,造成氟化钙沉淀自己,氟化物我们要除率达85%
三级补救
:插入PAC(缩聚氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),清理溶液态危害物
两级处置
:能够 多媒质净化器和吸咐性炭吸咐,有水出氟化物氧化还原电位可靠在8mg/L下述
首要机器包扩:pH自動自动调节模式、斜管沉淀出的池、板框污水压滤机(污水烘干)。
终极治疗效果
投资项目行驶两年监测技术统计数据展现:
氟化物人均溶度:7.2mg/L(低过部委细则)
COD消除率:92%
生活污水含水量率:≤65%
年回收公司氟化钙副商品约150吨,推动影视污泥处置灵活运用