业务历史背景
天津某半导体材料厂工作步骤中直接会产生高硅废液(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废液(F⁻ 200-300mg/L)。哪几种废液相混后容易行成氟硅酸固体,传统的化学石雕文化沉淀法难易安全未达标。创业项目需求同时清理硅和氟(尾气排放标:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
焦化废水有效成分及主要来源
重点组分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
由来
:晶圆刻蚀污水、CMP研磨产品污水、产品擦拭水
正确处理生产工艺环节
融合沉积价段
:
两极反馈池
:
一号级污泥脱水Ca(OH)₂生成二维码CaF₂和CaSiO₃沉垫;
第三级加药PAC(配位聚氯化铝)增幅斜管沉淀池。
固液分割第一阶段
:
反渗透膜模式
:选择0.02μm粒径膜配件截流固体硅和微细沉积物。
深度.脱氟环节
:
活力被氧化铝粉粘附塔
:残存氟亚铁离子吸附剂弄掉。
终究效果好
出水量SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远远高于祖国标准规范。
反渗透膜设计通量稳定性在15LMH,物理化学洗掉阶段延长至至60天。
淤泥经压滤后含水分率<65%,可按通常情况下危险废物外理。