该厂为8厘米晶圆生育线智能化的超注射用水系统的，天天引发含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属，但硅含氧量高易水垢，且电阻值率需以达到18MΩ·cm就能够使用。原本有净化处理工学院艺没有充分考虑新出台的《微电子工农业水污染源物废气的标准》（GB39731-2020）独特废气标准值。 废水处理材料优点和缺点 主耍废弃物物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（孔径0.1-1μm） 特殊化耍求 ：TOC<10μg/L，硼含量的<5μg/L 地表水因素 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质行态复杂化 正确处理生产技术步奏 创新性主要采用"梯级膜分离出来+电去阴离子"组合起来艺： 微滤预正确处理 ：1μm瓷质膜阻拦大顆粒硅，通量长期保持80LMH 阴离子置换不饱和树脂 ：D201大孔环氧树脂考虑性活性炭吸附硅酸分子结构 一级RO设备 ：独一段回收并率60%，二是段主要采用高脱硼膜元器件 EDI电去铁离子 ：瞬时电流黏度2A/m²，延续删去的残留物铁离子 分光光度计杀菌消毒 ：254nm紫外光线用量40mJ/cm² 技术应用突出 制作专业化阻硅剂（巧妙胺类包覆物），廷缓膜破坏时间段3倍 EDI信息模块自主创新流道设汁，硅弄掉率改善至99.8% 迅雷在线硅概述仪（检测领域0.1-500μg/L）做到优质管控 自动运行工作成效 经最后方检测工具： 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼水平从8μg/L高于0.3μg/L 系统软件再利用率从原40%大幅提升至68% 膜换洗的周期延长至至5年，年进行成本价消减35%