沪某半导体基带芯片基带芯片造成厂,晶圆生产加工阶段中诞生含硅、氟的特有生活污水,设计的除理人数1200吨/日。生活污水基本成分复杂性,有效微米级硅颗粒剂及氢佛酸,民俗除理做法不好及格。
废水处理工艺组成成分及原因
主要的严重污渍
:胶体溶液硅(100-500nm颗粒直径)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
原因制作工序
:晶圆刻蚀焦化废水处理方法(45%)、CMP生物厂家磨光焦化废水处理方法(40%)、设施设备清洗水(15%)
清理加工步骤流程
特色化主要包括"物理沉淀物中+特类膜分离处理"技术性规划:
钙盐发展
:加药系统氯化钙避开氟阴阳离子(转换CaF2发展)
水解酸化池化学反应
:复合材料水解酸化池剂进行电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm外径膜虚报冒领微细粉末
反融于系统软件
:脱盐率>98%,的回收利用率75%
挥发晶体
:浓水段变现氟化物零废气排放
最终能够成果
氟化物氨水浓度:<8mg/L(最低部委五级规格10mg/L)
硅量:<5mg/L
水影视资源工业废水处理率:70%用作一系列冷水塔皮肤补水
危险废弃物减轻药量:蒸发掉沉渣量较民俗技艺减轻60%