半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片舒适测封生活设施涉重工业废水——MVR强制性嵌套循环零排顶目
内容的背景
半导高公测工作流程,总量150立米米/天,是首份半导公测相互配套涉重电镀化工废水零排工作流程。公测方式的镀镍、镀铜、引线骨架家电清洗会产生含镍含铜电镀化工废水,小区需要"无尾水外排",产水基本循环于产线。
水硬度特性与难题
生产废水以含镍作为主(溶度10–100毫克/升),伴一些铜、锌,pH震荡大(2–12),有光刻胶残存的一些生物碳物。首测厂场所紧,需求治理设备占地赔偿小;零排暗示着浓水不是清运不要,务必本地网减压蒸馏成果反馈控制。
外理工学院艺途径
产品走"分质治理 → 预治理 除杂 → 有机化学石雕文化沉淀除镍 → 过滤器 → UF+二级RO → MVR二次巡环汽化 → 空调蒸发器水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢防氧化的钠绘制Ni(OH)₂积淀,另加塑炼钠纵深收集残留物镍(塑炼镍Ksp比氢防氧化的镍更小,能够镍压到0.1毫克/升接下来);
石雕文化沉淀出液经多材质净化+保安人员净化后进UF,再进三级RO,产水真接回产线进行维护清洁;
RO浓水(含盐+的残留物血本属)进MVR立即嵌套不断循环减压蒸馏器,立即嵌套不断循环能扛高含盐积垢,减压蒸馏器自身带有在线视频清晰,不容易堵;
MVR冷疑水离开工业废水处理鱼池,蒸发器残液委外焚化或有所作为危废处理正确处理,一个工厂无液体外排。
重点设配长处代表
MVR立即无限循环往复相比之下一般的降膜蒸发器掉器,无限循环往复流动速度高、制热面不可以结镍盐/碳酸盐垢,合适测封种"水流量好大但水源杂"的环境;信息化化撬装设计构思土地征用比传统的蒸发器掉器塘+多效蒸发器掉器预案小60%不低于;恶臭侧配备菌物滤池,把转换池和工业废水间的恶臭自身后化学降解成CO₂和水,以免 测封厂紧挨企业办公楼的腥臭味投诉信。
治理目的与整体
水流镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《电镀层污染问题物排放量规定规定》表三;彻底150立米米/天产水造纸废水处理于测封产线的洗涤,取代等量鲜美水;危废处理(蒸馏残液+污泥干化)量比过去的"沉定+排放量规定"玩法减约70%。对富士康侧,测封项目流程健康分级管理卡点被揍通;